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Microscanner ottici e microspettrometri utilizzando attuatori termici bimorfi di -

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ISBN-13: 9780792376552

Book Title: Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorp

ISBN: 9780792376552

Subject Area: Computers, Technology & Engineering

Publication Name: Optical Microscanners and Microspectrometers Using Thermal Bimorph Actuators

Publisher: Springer

Item Length: 9.2 in

Subject: Optical Data Processing, Mechanical, Industrial Design / General, Electrical

Publication Year: 2002

Series: Microsystems Ser.

Type: Textbook

Format: Hardcover

Language: English

Author: Gerhard Lammel, Philippe Renaud, Sandra Schweizer

Item Weight: 44.8 Oz

Item Width: 6.1 in

Number of Pages: Xii, 268 Pages

Informazioni su questo prodotto

Product Information

Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators shows how to design and fabricate optical microsystems using innovative technologies and and original architectures. A barcode scanner, laser projection mirror and a microspectrometer are explained in detail, starting from the system conception, discussing simulations, choice of cleanroom technologies, design, fabrication, device test, packaging all the way to the system assembly. An advanced microscanning device capable of one- and two-dimensional scanning can be integrated in a compact barcode scanning system composed of a laser diode and adapted optics. The original design of the microscanner combines efficiently the miniaturized thermal mechanical actuator and the reflecting mirror, providing a one-dimensional scanning or an unique combination of two movements, depending on the geometry. The simplicity of the device makes it a competitive component. The authors rethink the design of a miniaturized optical device and find a compact solution for a microspectrometer, based on a tunable filter and a single pixel detector. A porous silicon technology combines efficiently the optical filter function with a thermal mechanical actuator on chip. The methodology for design and process calibration are discussed in detail. The device is the core component of an infrared gas spectrometer.

Product Identifiers

Publisher

Springer

ISBN-10

0792376552

ISBN-13

9780792376552

eBay Product ID (ePID)

2227507

Product Key Features

Number of Pages

Xii, 268 Pages

Language

English

Publication Name

Optical Microscanners and Microspectrometers Using Thermal Bimorph Actuators

Publication Year

2002

Subject

Optical Data Processing, Mechanical, Industrial Design / General, Electrical

Type

Textbook

Subject Area

Computers, Technology & Engineering

Author

Gerhard Lammel, Philippe Renaud, Sandra Schweizer

Series

Microsystems Ser.

Format

Hardcover

Dimensions

Item Weight

44.8 Oz

Item Length

9.2 in

Item Width

6.1 in

Additional Product Features

Intended Audience

Scholarly & Professional

LCCN

2002-280338

Dewey Edition

Series Volume Number

Number of Volumes

1 Vol.

Illustrated

Yes

Dewey Decimal

621.367

Lc Classification Number

Tj1-1570

Table of Content

1 Introduction.- 2 Basics for a thermally actuated micromirror.- 3 Microscanner technology.- 4 One-dimensional microscanner.- 5 Two-dimensional microscanner.- 6 Advanced Optical Filters of Porous Silicon.- 7 Micromachining using porous Silicon.- 8 Tunable Optical Filter and IR Gas Spectroscopy.- 9 Conclusions and outlook.- Appendices.- A.1 Complement to the curvature calculation due to residual stress.- A.2 Complement to the static temperature distribution calculation.- A.3 Large deflections.- References.- Symbols and Abbreviations.- Glossary of terms.- Acknowledgments.

2002

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