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Handbook of Advanced Semiconductor Technology and Computer Systems <|

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PublishedOn
2012-06-24
Title
Handbook of Advanced Semiconductor Technology and Computer Syste
ISBN
9789401170581
Publication Year
2012
Type
Study Guide
Format
Paperback
Language
English
Publication Name
Handbook of Advanced Semiconductor Technology and Computer Systems
Item Height
235mm
Author
Guy Rabbat
Publisher
Springer
Item Width
155mm
Subject
Education
Item Weight
1442g
Number of Pages
942 Pages

Informazioni su questo prodotto

Product Information

Chapter I describes deposition as a basic microelectronics technique. Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is a technique widely accepted in microelectronics for the deposition of amorphous dielectric films such as silicon nitride and silicon oxide. The main advantage of PECVD stems from the intro duction of plasma energy to the CVD environment, which makes it possible to promote chemical reactions at relatively low temperatures. A natural extension of this is to use this plasma energy to lower the temperature required to obtain a crystalline deposit. This chapter discusses the PECVD technique and its ap plication to the deposition of dielectric, semiconductor, and conductor films of interest to microelectronics. Chapter 2 acquaints the reader with the technology and capabilities of plasma processing. Batch etching reactors and etching processes are approaching ma turity after more than ten years of development. Requirements of anisotropic and selective etching have been met using a variety of reactor configurations and etching gases. The present emphasis is the integration of plasma etching processes into the overall fabrication sequence. Chapter 3 reviews recent advances in high pressure oxidation technology and its applications to integrated circuits. The high pressure oxidation system, oxi dation mechanisms, oxidation-induced stacking faults, impurity segregation, and oxide quality are described. Applications to bipolar and MOS devices are also presented.

Product Identifiers

Publisher
Springer
ISBN-13
9789401170581
eBay Product ID (ePID)
209439850

Product Key Features

Author
Guy Rabbat
Publication Name
Handbook of Advanced Semiconductor Technology and Computer Systems
Format
Paperback
Language
English
Subject
Education
Publication Year
2012
Type
Study Guide
Number of Pages
942 Pages

Dimensions

Item Height
235mm
Item Width
155mm
Item Weight
1442g

Additional Product Features

Title_Author
Guy Rabbat
Series Title
Van Nostrand Reinhold Electrical/Computer Science and Engineering Series
Country/Region of Manufacture
Netherlands

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WRAP Ltd.
Mubin Ahmed
Unit 4
119 Loverock Road
Reading
Berkshire
RG30 1DZ
United Kingdom
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:onofeleT60358080080
:liamEmoc.aidemtumahab@yabe
Numero Partita IVA:
  • GB 724498118
Numero registro delle imprese:
  • 03800600
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Numero di registrazione dell'impresa:
  • 03800600
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