MEMS and Microsystems: Design and Manufacture Hsu, Tai-Ran

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Book Title
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ISBN
9780072393910
Categoria

Informazioni su questo prodotto

Product Identifiers

Publisher
McGraw-Hill Higher Education
ISBN-10
0072393912
ISBN-13
9780072393910
eBay Product ID (ePID)
1987522

Product Key Features

Number of Pages
448 Pages
Language
English
Publication Name
Mems and Microsystems : Design and Manufacture
Publication Year
2001
Subject
Mechanical, Electronics / Microelectronics, Nanotechnology & Mems, Robotics
Type
Textbook
Author
Tai-Ran Hsu
Subject Area
Technology & Engineering
Format
Hardcover

Dimensions

Item Height
0.9 in
Item Weight
28.8 Oz
Item Length
9.3 in
Item Width
7.5 in

Additional Product Features

Intended Audience
College Audience
LCCN
2001-044737
Dewey Edition
21
Illustrated
Yes
Dewey Decimal
621.381
Table Of Content
1 Overview of MEMS and Microsystems 2 Working Principles of Microsystems 3 Engineering Science for Microsystem Design and Fabrication 4 Engineering Mechanics for Microsystems Design 5 Thermofluid Engineering and Microsystem Design 6 Scaling Laws in Miniaturization 7 Materials for MEMS and Microsystems 8 Microsystem Fabrication Processes 9 Overview of Micromanufacturing 10 Microsystems Design 11 Microsystem Packaging Appendixes 1 Recommended Units for Thermophysical Quantities 2 Conversion of Units between SI and Imperial Systems
Synopsis
Microsystems and MEMS technology is one of the biggest breakthroughs in the area of mechanical and electronic technology in recent years. This is the technology of extremely small and powerful devices, and systems built around them, which have mechanical and electrical components. MEMS technology is expanding rapidly, with major application areas being telecommunications, biomedical technology, manufacturing and robotic systems, transportation and aerospace. Academics are desperate for texts to familiarise future engineers with this broad-ranging technology. This text provides an engineering design approach to MEMS and microsystems which is appropriate for professionals and senior level students. This design approach is conveyed through good examples, cases and applied problems. The book is appropriate for mechanical and aerospace engineers, since it carefully explains the electrical/electronic aspects of the subject. Electrical engineering students will be given strong coverage of the mechanical side of MEMS, something they may not receive elsewhere.
LC Classification Number
TK7874.H794 2002

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